Título

ANÁLISE DAS PROPRIEDADES ÓPTICAS DE FILMES FINOS NITRETO DE SILÍCIO OBTIDOS POR MAGNETRON SPUTTERING

ANALYSIS OF SILICON NITRIDE THIN FILMS OPTICAL PROPERTIES OBTAINED BY MAGNETRON SPUTTERING

Autoria

Abreu, João Luís Aguiar de; Silva, Ladário da

DOI

10.5151/1516-392X-30493

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Resumo

A aplicação de vidros planos com eficiência energética está aumentando de forma significativa no mercado mundial. A performance energética, bem como as propriedades estéticas, cor, reflexão e transmissão, são os motivos pelos quais estes vidros são aplicados na construção civil. Estes vidros planos com eficiência energética são produtos constituídos por uma lâmina de vidro tipo Soda-Cálcio revestida por filmes finos em escala nanométrica. Tais filmes finos são em sua maioria constituídos de ligas metálicas, metais puros e materiais cerâmicos, como óxidos e nitretos. As propriedades físicas e químicas de cada camada afetam diretamente as propriedades ópticas e a performance do produto. Este trabalho tem por objetivo o estudo das propriedades ópticas de filmes finos de Nitreto de Silício, depositados por Magnetron Sputtering Reativo sobre substrato de vidro Soda-Cálcio.

 

The application of flat glass with high energy performance has growing around the world. The energy performance, and the aesthetics, such as color, reflection, transmission, are the main reason to apply this kind of glass on the buildings. This flat glass with high performance energy is normally made by means of a flat glass pane coated with one or more layers with nanometric thickness. The thin films are usually composed mainly by metal alloys, metals, and ceramic materials, such as oxides and nitrides. The physical and chemical properties associated to each layers considerably impact the final product performance. The aim of the present study is to evaluate the optical properties of Silicon Nitride thin films deposited on Sodium-Calcium glass substrate by Magnetron Sputtering.

Palavras-chave

Magnetron Sputtering, Nitreto de Silício, Espectrofotometria

Magnetron Sputtering, Silicon Nitride, Spectrophotometry