Título

FILME DE DIAMANTE ADERENTE EM COBRE USANDO CAMADA INTERMEDIÁRIA DE COMPÓSITO DIAMANTE-Cu

ADHERENT DIAMOND FILM ON COPPER USING CU-DIAMOND COMPOSITE INTERLAYER

Autoria

Alves, Kenya Aparecida; Corat, Evaldo José; Moro, João Roberto; Trava-Airoldi, Vladimir José

DOI

10.5151/2594-5327-21245

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Resumo

Neste trabalho são mostrados e discutidos os resultados obtidos em um estudo de adesão e deposição de diamante CVD em substrato de cobre eletrolítico a partir de uma camada intermediária do compósito diamante/Cu, para melhorar a adesão entre o filme de diamante e o substrato de cobre. O processo de deposição do filme de diamante sobre cobre neste trabalho consistiu em duas etapas. A primeira envolveu a eletrodeposição do compósito diamante/Cu sobre o substrato de cobre. A segunda a deposição do filme de diamante sobre esta interface em reatores usando o método de Deposição Química na Fase Gasosa assistida por Filamento Quente (HFCVD). O filme obtido foi caracterizado quanto à qualidade do diamante e morfologia da superfície por Espectroscopia Raman e Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV), respectivamente. Testes de indentação Rockwell C com cargas variáveis foram feitos para determinar qualitativamente a adesão do filme de diamante.

 

This paper shows and discusses the results obtained in a study of adhesion and deposition of CVD diamond on electrolytic copper substrate with a Cu/diamond composite interlayer to improve the adhesion between diamond film and copper substrate. The process for deposition of diamond film on copper in this study consisted of two steps. The first involved the electroplating a copper Cu/diamond composite interlayer on copper substrate. The second, the deposition of diamond film on this interface in reactors using the method of hot filament chemical vapor deposition (HFCVD). The diamond film quality and surface morphology were characterized by Raman Spectroscopy and Scanning Electron Microscopy (SEM), respectively. Rockwell C indentation tests with varying loads determined qualitatively the adhesion of diamond film.

Palavras-chave

Deposição química a vapor; Filmes de diamante; Eletrodeposição; Compósito cobre-diamante.

Chemical vapor deposition; Diamond film; Electroplanting;Cu-diamond composite.