Título

MATERIAIS PARA SENSORES DE INFRAVERMELHO

INFRARED SENSORS MATERIALS

Autoria

Castro, Marcelo Silva Bortolini de; Ferreira, Carlos Luiz; Avillez, Roberto Ribeiro de

Castro, Marcelo Silva Bortolini de

Eu sou esse autor

Ferreira, Carlos Luiz

Eu sou esse autor

Avillez, Roberto Ribeiro de

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DOI

10.5151/2594-5327-0338

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Resumo

Foram produzidos, por pulverização catódica, filmes finos de diferentes óxidos de vanádio para aplicação em bolômetros. O processamento dos filmes foi a partir de um alvo de V2O5 de alta pureza (99,9%). Variando-se a atmosfera de deposição e a temperatura dos substratos, foi possível obter V2O3, V5O9, VO2 e V2O5. Do ponto de vista de sua aplicação tecnológica, o filme de melhor resultado apresentou um TCR de -1,8%.K-1. Objetivando facilitar a compreensão do leitor, este trabalho apresenta uma breve explanação sobre sensores de infravermelho, com ênfase nos bolômetros.

Vanadium oxide thin films for application in bolometers were deposited by magnetron sputtering. The source was used a 99,9% pure V2O5 target. The deposition atmosphere and substrate temperature were varied to provide different oxides formation: V2O3, V5O9, VO2 and V2O5. The best result for bolometer application provided a -1,8%.K-1 TCR. A short explanation about infrared sensors, especially bolometers, is presented to help the reader understand this technology.

Palavras-chave

Sensor de infravermelho; Bolômetro; Óxido de vanádio; TCR

Infravermelho; Detector; Bolômetro; Óxido de vanádio; Nanoestrutura.