ISSN 2594-5327
57º Congresso anual — Vol. 57 , num. 1 (2002)
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Resumo
O presente trabalho visa apresentar os principais resultados obtidos na determinação dos parâmetros óptimos de funcionamento do equipamento EBSD a fim de se obter maior resolução. Os resultados contribuem para melhorar a qualidade e a confiabilidade dos dados e diminuir o tempo despendido com o retrabalho de ensaios. Foram feitos estudos utilizando amostras de aço silício, realizando uma série de medidas da largura dos contorno de grão, para diversos valores de tensão do canhão de elétrons, spot do feixe, ampliação e posicionamento da amostra, etc. Com base nos índices de confiabilidade CI e coeficiente de qualidade de imagem IQ do padrão de difração de elétrons entre estas medidas, encontrou-se um menor valor 190±17 nm para resolução linear e 0.13°±0.01° para resolução angular, utilizando parâmetros de trabalho iguais a: Tensão do canhão de elétrons = 20 kV, Spot = 7, distância de trabalho = 20mm, inclinação da amostra = 70°, imagens utilizadas para média = 4.
O presente trabalho visa apresentar os principais resultados obtidos na determinação dos parâmetros óptimos de funcionamento do equipamento EBSD a fim de se obter maior resolução. Os resultados contribuem para melhorar a qualidade e a confiabilidade dos dados e diminuir o tempo despendido com o retrabalho de ensaios. Foram feitos estudos utilizando amostras de aço silício, realizando uma série de medidas da largura dos contorno de grão, para diversos valores de tensão do canhão de elétrons, spot do feixe, ampliação e posicionamento da amostra, etc. Com base nos índices de confiabilidade CI e coeficiente de qualidade de imagem IQ do padrão de difração de elétrons entre estas medidas, encontrou-se um menor valor 190±17 nm para resolução linear e 0.13°±0.01° para resolução angular, utilizando parâmetros de trabalho iguais a: Tensão do canhão de elétrons = 20 kV, Spot = 7, distância de trabalho = 20mm, inclinação da amostra = 70°, imagens utilizadas para média = 4.
Palavras-chave
EBSD, resolução, calibração
EBSD, resolução, calibração
Como citar
Cunha, Marco Antônio da; Luna, Paulo Cesar; Côrtes, Paulo Ernesto Freiheit.
Determinação dos Parâmetros Óptimos de Utilização e Resolução do Equipamento de EBSD Usando Canhão de Elétrons LaB₆,
p. 1464-1475.
In: 57º Congresso anual,
São Paulo, Brasil,
2002.
ISSN: 2594-5327, DOI 10.5151/2594-5327-C01482
