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Congresso Anual da ABM


ISSN 2594-5327

59º Congresso anual Vol. 59 , num. 1 (2004)


Título

ESTUDO COMPARATIVO DA USINABILIDADE DO SILÍCIO POR ABRASÃO ULTRASONORA E ELETROEROSÃO

ESTUDO COMPARATIVO DA USINABILIDADE DO SILÍCIO POR ABRASÃO ULTRASONORA E ELETROEROSÃO

Autoria

DOI

10.5151/2594-5327-4087

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Resumo

O Silício elementar é utilizado na produção de silicones, ligas metálicas e semicondutores. Os semicondutores são aplicados na fabricação de transistores, diodos e células solares. Em termos de propriedades mecânicas, o Silício caracteriza-se pela fragilidade, o que torna difícil a sua conformação mecânica. Este trabalho tem por objetivo avaliar a usinabilidade do Silício usando técnicas não-convencionais de usinagem por abrasão ultrasonora e descargas elétricas. A partir de um bloco de Silício, lâminas foram obtidas por corte com disco abrasivo. A usinagem por abrasão ultrasonora foi feita em uma máquina Sonic-Mill com potência de 1790 W e frequência de vibração de 20 kHz. A usinagem por eletroerosão foi realizada em máquina Engemac 440 NC. Em ambos os processos, os parâmetros foram otimizados para obter as melhores condições de acabamento e integridade superficial. Para tal, as amostras foram analisadas por interferometria laser e por microscopia eletrônica de varredura. Os resultados mostram a viabilidade do uso desses processos na conformação de Silício, com a vantagem se obter peças com geometrias complexas, diferentemente do processo de corte com disco. Outra grande possibilidade é a utilização de revestimento de Ouro, apenas uma microcamada, o que possibilita a usinagem de materiais semicondutores pelo processo de usinagem por descargas elétricas, o que até agora, era improvável.

 

O Silício elementar é utilizado na produção de silicones, ligas metálicas e semicondutores. Os semicondutores são aplicados na fabricação de transistores, diodos e células solares. Em termos de propriedades mecânicas, o Silício caracteriza-se pela fragilidade, o que torna difícil a sua conformação mecânica. Este trabalho tem por objetivo avaliar a usinabilidade do Silício usando técnicas não-convencionais de usinagem por abrasão ultrasonora e descargas elétricas. A partir de um bloco de Silício, lâminas foram obtidas por corte com disco abrasivo. A usinagem por abrasão ultrasonora foi feita em uma máquina Sonic-Mill com potência de 1790 W e frequência de vibração de 20 kHz. A usinagem por eletroerosão foi realizada em máquina Engemac 440 NC. Em ambos os processos, os parâmetros foram otimizados para obter as melhores condições de acabamento e integridade superficial. Para tal, as amostras foram analisadas por interferometria laser e por microscopia eletrônica de varredura. Os resultados mostram a viabilidade do uso desses processos na conformação de Silício, com a vantagem se obter peças com geometrias complexas, diferentemente do processo de corte com disco. Outra grande possibilidade é a utilização de revestimento de Ouro, apenas uma microcamada, o que possibilita a usinagem de materiais semicondutores pelo processo de usinagem por descargas elétricas, o que até agora, era improvável.

Palavras-chave

Abrasão Ultrasonora, Eletroerosão, Silício.

Abrasão Ultrasonora, Eletroerosão, Silício.

Como citar

Brasil, Jorge Francisco Costa; Jacomine, Leandro; Arantes, Luciano José; Raslan, Alberto Arnaldo. ESTUDO COMPARATIVO DA USINABILIDADE DO SILÍCIO POR ABRASÃO ULTRASONORA E ELETROEROSÃO, p. 2943-2951. In: 59º Congresso anual, São Paulo, Brasil, 2004.
ISSN: 2594-5327, DOI 10.5151/2594-5327-4087