ISSN 2594-5327
56º Congresso anual — Vol. 56 , num. 1 (2001)
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Resumo
Os filmes finos de óxido de zinco são vastamente utilizados em aplicações que requerem alta tecnologia, como na fabricação de sensores e transdutores, na produção de camadas protetoras e metalúrgicas e em células solares. Neste trabalho, foi analisada a influência do tipo e concentração de dopante e do efeito do tratamento térmico sobre as propriedades elétricas e estruturais dos filmes finos de óxido de zinco depositados sobre substratos de silício monocristalino (100) aquecidos a 450 ºC. Na produção dos filmes finos de óxido de zinco, foi utilizada a técnica de deposição por Spray-pirólise. Na caracterização elétrica, foram obtidas curvas de variação da condutividade elétrica com a temperatura. A caracterização morfológica foi feita utilizando Microscopia Eletrônica de Varredura. Observou-se que os filmes finos de óxido de zinco apresentaram máxima resistividade elétrica, na temperatura ambiente, para a concentração atômica de 5% de Al e 3% de Sm e La. O tratamento térmico, realizado a 450 ºC em atmosfera de argônio durante 1 hora, não provocou consideráveis alterações nas propriedades dos filmes finos analisados. Considerando-se a adição de elementos dopantes, e analisando-se a morfologia superficial dos filmes finos, observa-se que tais elementos atuam como refinadores de grão.
Os filmes finos de óxido de zinco são vastamente utilizados em aplicações que requerem alta tecnologia, como na fabricação de sensores e transdutores, na produção de camadas protetoras e metalúrgicas e em células solares. Neste trabalho, foi analisada a influência do tipo e concentração de dopante e do efeito do tratamento térmico sobre as propriedades elétricas e estruturais dos filmes finos de óxido de zinco depositados sobre substratos de silício monocristalino (100) aquecidos a 450 ºC. Na produção dos filmes finos de óxido de zinco, foi utilizada a técnica de deposição por Spray-pirólise. Na caracterização elétrica, foram obtidas curvas de variação da condutividade elétrica com a temperatura. A caracterização morfológica foi feita utilizando Microscopia Eletrônica de Varredura. Observou-se que os filmes finos de óxido de zinco apresentaram máxima resistividade elétrica, na temperatura ambiente, para a concentração atômica de 5% de Al e 3% de Sm e La. O tratamento térmico, realizado a 450 ºC em atmosfera de argônio durante 1 hora, não provocou consideráveis alterações nas propriedades dos filmes finos analisados. Considerando-se a adição de elementos dopantes, e analisando-se a morfologia superficial dos filmes finos, observa-se que tais elementos atuam como refinadores de grão.
Palavras-chave
óxido de zinco, spray-pirólise, filmes finos
óxido de zinco, spray-pirólise, filmes finos
Como citar
Ribeiro, Cristina de Souza; Viana, Cátia Cristina Brito; Junior, Herval Ramos Paes.
FILMES FINOS DE ÓXIDO DE ZINCO DOPADOS COM Sm, La e Al,
p. 675-684.
In: 56º Congresso anual,
Belo Horizonte, Brasil,
2001.
ISSN: 2594-5327, DOI 10.5151/2594-5327-C01145
