ISSN 2594-5327
52º Congresso anual — Vol. 52 , num. 1 (1997)
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Resumo
São apresentados os primeiros resultados de análise de superfície de materiais através da técnica conhecida por LIBS - Laser-Induced Breakdown Spectroscopy. Foi montada uma base de dados com espectros de emissão dos diferentes elementos analisados – Cu, Si, Fe, Zn, Al, Ni, etc. As principais características espaço-temporal dos espectros de diferentes elementos são analisadas e comparadas entre si. Esta técnica foi utilizada no estudo e caracterização de filmes de Zn e TiN sobre aço, Ni sobre latão e LiF sobre silício. Para o caso do aço galvanizado e do LiF sobre silício os resultados da espectroscopia foram comparados com os obtidos por MEV e EDS. As possibilidades de utilização desta técnica espectroscópica em processos contínuos de produção são discutidas. Os resultados obtidos com o equipamento no estágio atual permite a identificação de elementos constituintes em concentrações superiores a 1%.
São apresentados os primeiros resultados de análise de superfície de materiais através da técnica conhecida por LIBS - Laser-Induced Breakdown Spectroscopy. Foi montada uma base de dados com espectros de emissão dos diferentes elementos analisados – Cu, Si, Fe, Zn, Al, Ni, etc. As principais características espaço-temporal dos espectros de diferentes elementos são analisadas e comparadas entre si. Esta técnica foi utilizada no estudo e caracterização de filmes de Zn e TiN sobre aço, Ni sobre latão e LiF sobre silício. Para o caso do aço galvanizado e do LiF sobre silício os resultados da espectroscopia foram comparados com os obtidos por MEV e EDS. As possibilidades de utilização desta técnica espectroscópica em processos contínuos de produção são discutidas. Os resultados obtidos com o equipamento no estágio atual permite a identificação de elementos constituintes em concentrações superiores a 1%.
Palavras-chave
espectroscopia, plasma, libs, caracterização de filmes, análise de superfície
espectroscopia, plasma, libs, caracterização de filmes, análise de superfície
Como citar
Tabares, Raúl Hernández; Nunes, Raul Almeida; Pershin, Serguei; Avillez, Roberto Ribeiro de.
LIBS - ESPECTROSCOPIA POR PLASMA - APLICADA A CARACTERIZAÇÃO DE FILMES SUPERFICIAIS,
p. 719-728.
In: 52º Congresso anual,
São Paulo, Brasil,
1997.
ISSN: 2594-5327, DOI 10.5151/2594-5327-C00046-719-728
