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Congresso Anual da ABM


ISSN 2594-5327

36º Congresso anual Vol. 36, Num. 1 (1981)


Título

Parâmetros que influenciam a fusão zonal flutuante do silício

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Autoria

DOI

10.5151/2594-5327-1981-36-v2-381-396

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Resumo

Foi realizado um estudo objetivando encontrar os principais parâmetros que regem a fusão e a solidificação no processo de fusão zona flutuante do silício. Foram estudados as influências dos seguintes parâmetros: (i) forma da espira de indução; (ii) diâmetro interno da espira de indução; (iii) comprimento da zona fundida flutuante; (iv) rotação inferior e superior da barra de silício e (v) velocidade de avanço da zona fundida. Dos parâmetros estudados. concluiu-se que os de maior influência foram os relacionados com a rotação das barras de silício. e com o diâmetro interno da espira de indução. Constatou-se que existe um limite máximo com relação ao tamanho da zona fundida (da ordem de grandeza do diâmetro da barra) e também um limite máximo com relação a velocidade de avanço da zona fundida (não superior a 4.0 cm/hora).

 

Palavras-chave

não Tem

Como citar

Barbosa, Luiz Carlos; Arruda, Antonio Celso F. de. Parâmetros que influenciam a fusão zonal flutuante do silício, p. 779-794. In: 36º Congresso anual, Recife, Brasil, 1981.
ISSN: 2594-5327, DOI 10.5151/2594-5327-1981-36-v2-381-396