ISSN 2594-5327
60º Congresso Anual da ABM — vol. 60, num.60 (2005)
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Resumo
O Triodo Magnetron Sputtering (TMS) é um sistema de deposição física de filmes, constituído de uma tela móvel aterrada situada entre o catodo (alvo) e o anodo (substrato). Alterando-se a posição relativa desta tela ao catodo, alteram-se algumas das características do plasma como, por exemplo, a tensão de ignição. Por meio de um estudo realizado anteriormente observou-se que é possível controlar independentemente em um sistema de TMS, duas das principais características do plasma: tensão e corrente do alvo, o que torna este sistema uma alternativa viável para a deposição filmes metálicos sobre substratos poliméricos. Após a escolha de algumas condições de deposição, realizou-se um recobrimento com Al e com uma liga de níquel-cromo (Inconel) sobre substrato de poli(tereftalato de etileno), com a finalidade de se estudar a atenuação da energia da onda eletromagnética, na faixa de freqüência compreendida entre 8 e 12 GHz. Este comportamento atenuador torna este material passível de ser utilizado como material absorvedor de radiação eletromagnética (MARE), sendo ampla a sua utilização para o controle de radiação eletromagnética indesejada em diversos equipamentos. Por meio do estudo da influência da espessura da camada e do material que constitui o filme (Al ou Inconel) nas características atenuadoras deste, pode-se verificar que esta teve um máximo de 13%. Por meio deste estudo, verificou-se que filmes metálicos podem ser utilizados com materiais absorvedores de radiação eletromagnética, desde que se conheça a espessura ideal de trabalho e outras características intrínsecas do mesmo.
The Triode Magnetron Sputtering (TMS) is a system of physical depositing films which is made up of a grounded mobile screen, located between the cathode (target) and the anode (substrate). Changing its relative position between to the cathode and mobile screen, some of the characteristics of the plasma are changed such as the ignition tension. Through the one study, we could verify that, in a TMS system, it’s possible to work independently with the current and the target voltage, making this system an alternative viable for the deposition of quality metallic films on polymeric substrates. After that choose the suitable conditions of deposition, a deposition of Al and Inconel films on a poly (ethylene terephthalate) substrate was made, with the purpose of investigating film behavior concerning its attenuation characteristics of incident electromagnetic energy, in the frequency band between 8 and 12GHz. This behaviour turn this material passive of to be used how electromagnetic radiation absorbing (MARE), enlarging its applications to the control of the undesirable radiation in several equipments. Trough a study of the influence of layer thickness and film material (Al or Inconel) on the characteristics of attenuation of electromagnetic wave energy, it was observed that Al and Inconel deposited films showed a maximum 13% attenuation. Through this study we check that metallic films can be used how electromagnetic radiation absorbing materials, as long as ideal work thickness and its intrinsic characteristics are known.
Palavras-chave
Triodo-Magnetron-Sputtering (TMS); Filmes finos; Material absorvedor de radiação eletromagnética; Caracterização eletromagnética.
Triode-Magnetron-Supttering (TMS), Thin films, MARE, electromagnetic characterization.
Como citar
Soethe, Viviane Lilian;
Nohara, Evandro Luis;
Rezende, Mirabel Cerqueira;
Fontana, Luís Cesar.
DEPOSIÇÃO DE FILMES METÁLICOS DEPOSITADOS VIA TRIODO MAGNETRON SPUTTERING SOBRE POLI (TEREFTALATO DE ETILENO) COMO ATENUADOR DA ENERGIA DA ONDA ELETROMAGNÉTICA (8-12 GHz)
,
p. 3441-3448.
In: 60º Congresso Anual da ABM,
Belo Horizonte,
2005.
ISSN: 2594-5327
, DOI 10.5151/2594-5327-0349
