Title

CARACTERIZAÇÃO ELIPSOMÉTRICA DE NIÓBIO METÁLICO

ELLIPSOMETRIC CHARACTERIZATION OF METALLIC NIOBIUM

Authorship

Nunes, Nayara Ferreira; Garcia, Marcela Teixeira Dalboni; Alves, Elivelton Ferreira; Ribeiro, Mauro Cesar; Souza, Michele Lemos de; Paula, Andersan de Santos; Silva, Ladário da

Nunes, Nayara Ferreira

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Garcia, Marcela Teixeira Dalboni

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Alves, Elivelton Ferreira

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Ribeiro, Mauro Cesar

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Souza, Michele Lemos de

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Paula, Andersan de Santos

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Silva, Ladário da

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DOI

10.5151/1516-392X-27851

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Abstract

O presente trabalho tem como objetivo promover, através da técnica de elipsometria, a caracterização de propriedades ópticas e dielétricas do nióbio metálico e, além disto, medir a espessura dos filmes finos de óxido de nióbio formados. Devido a grande variedade de aplicações em importantes setores, o nióbio se tornou um elemento de grande importância para o desenvolvimento tecnológico em áreas estratégicas e o Brasil destaca-se neste contexto por deter as maiores reservas mundiais. Logo, conhecer o máximo de informações sobre este material é de grande importância para direcionar estudos às aplicações tecnológicas a fim de se agregar valor ao nióbio e seus compostos. Após a realização das medidas de parâmetros elipsométricos, e modelagem apropriadas, foram geradas satisfatoriamente as propriedades ópticas e dielétricas do material. Sendo também medida a espessura do óxido formado de forma natural sobre o substrato de nióbio metálico.

This study aims to promote, through the ellipsometry technique, the characterization of metallic niobium optical and dielectric properties and, in addition, to measure the formed thin niobium oxide films thickness. Due to the wide variety of applications in important sectors, niobium has become an element of great significance to the technological development in strategic areas and Brazil stands out in this context by detaining the largest reserves. Therefore, to know as much information as possible about this material is of great importance to direct researches to technological applications in order to add value to the niobium and its compounds. After the achievement of ellipsometry measurements and modelling, it has been satisfactorily generated the optical properties of the material. And also measured the thickness of the naturally formed oxide on niobium metal substrate.

Keywords

Nióbio, Óxido de nióbio, Elipsometria

Niobium, Niobium Oxides, Ellipsometry