Title

CARACTERIZAÇÃO DE ÓXIDO DE ALUMÍNIO POR ELIPSOMETRIA

ELLIPSOMETRIC CHARACTERIZATION OF ALUMINUM OXIDE

Authorship

Caldeira, Marcus Vinícius; Gomes, Bhetina Cunha; Santos, Ramona Rodrigues; Almeida, Gerson Chaves de; Ferreira, Elivelton Alves; Silva, Ladário da

Caldeira, Marcus Vinícius

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Gomes, Bhetina Cunha

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Santos, Ramona Rodrigues

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Almeida, Gerson Chaves de

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Ferreira, Elivelton Alves

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Silva, Ladário da

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DOI

10.5151/1516-392X-31237

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Abstract

Considerando o uso da camada de óxido de alumínio para evitar a oxidação em ligas metálicas, torna-se necessário o estudo das propriedades ópticas e espessura da mesma em diferentes condições. A elipsometria é uma ferramenta poderosa para avaliar as propr

Considering the aluminum oxide used to avoid the oxidation in metallic alloys, it is necessary the study of optical properties and thickness under different conditions. The ellipsometry is a powerful tool to evaluate the optics, dieletrics properties and

Keywords

Óxido de Alumínio; Ligas Metálicas; Elipsometria

Aluminum Oxide; Metallic Alloys; Ellipsometry