Title

CRESCIMENTO DE DIAMANTE A PRESSÃO SUBATMOSFÉRICA USANDO VAPOR DE COMPOSTOS ORGÂNICOS

CRESCIMENTO DE DIAMANTE A PRESSÃO SUBATMOSFÉRICA USANDO VAPOR DE COMPOSTOS ORGÂNICOS

Authorship

DOI, IOSHIAKI; FRANCO, MARGARETH K. K. DIAS; BARANAUSKAS, VITOR; CHANG, DAHGE CHIADIN; PETERLEVITZ, ALFREDO C.; ALCÓCER, JUAN CARLOS A.

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PETERLEVITZ, ALFREDO C.

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ALCÓCER, JUAN CARLOS A.

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DOI

10.5151/2594-5327-50v4-505-516

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Abstract

Apresentamos resultados dos estudos de crescimento de filmes de diamante sobre substratos de silício e de safira, obtidos pelo processo de deposição química a partir da fase de vapor assistida por filamento quente, usando como fonte de carbono a mistura constituída de etanol e acetona. As análises de Espectroscopia Raman feitas nos filmes obtidos mostram picos estreitos e intensos em 1331 cm⁻¹, indicando a deposição de diamantes de boa qualidade e alta pureza, praticamente sem a fase grafítica. Através dos estudos da morfologia da superfície do filme realizada por Microscopia De Força Atômica (AFM) e Microscopia Eletrônica de Varredura (SEM), constatou-se a formação de filmes uniformes constituídos por cristais de granulação bastante homogênea com tamanho de cerca de 3–4 μm. Os experimentos com compostos orgânicos líquidos mostraram ser competitivos com os de gás metano, com taxas de deposição similares.

Apresentamos resultados dos estudos de crescimento de filmes de diamante sobre substratos de silício e de safira, obtidos pelo processo de deposição química a partir da fase de vapor assistida por filamento quente, usando como fonte de carbono a mistura constituída de etanol e acetona. As análises de Espectroscopia Raman feitas nos filmes obtidos mostram picos estreitos e intensos em 1331 cm⁻¹, indicando a deposição de diamantes de boa qualidade e alta pureza, praticamente sem a fase grafítica. Através dos estudos da morfologia da superfície do filme realizada por Microscopia De Força Atômica (AFM) e Microscopia Eletrônica de Varredura (SEM), constatou-se a formação de filmes uniformes constituídos por cristais de granulação bastante homogênea com tamanho de cerca de 3–4 μm. Os experimentos com compostos orgânicos líquidos mostraram ser competitivos com os de gás metano, com taxas de deposição similares.

Keywords

crescimento de filmes de diamante, diamante CVD, deposição química da fase vapor

crescimento de filmes de diamante, diamante CVD, deposição química da fase vapor