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Proceedings of ABM Annual Congress


ISSN 2594-5327

54th Congresso anual Vol. 54 , num. 1 (1999)


Title

CRIAÇÃO DE UM LABORATÓRIO PARA PROCESSAMENTO DE MATERIAIS POR PLASMA

CRIAÇÃO DE UM LABORATÓRIO PARA PROCESSAMENTO DE MATERIAIS POR PLASMA

Authorship

DOI

10.5151/2594-5327-C00702

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Abstract

Nas últimas décadas, tem-se observado uma série de processos que utilizam o plasma como fonte energética. Na área de materiais, as aplicações vão desde os processos primários como os siderúrgicos até àqueles mais sofisticados como os de confecção de dispositivos da microeletrônica. Estes processos, em alguns casos são completamente originais e em outros, que correspondem a uma grande maioria, simplesmente substituem as fontes energéticas dos processos convencionais. A simples substituição da fonte energética convencional pelo plasma já justifica a sua aplicação devido total mudança de mecanismo da reação. Na reação do plasma com uma superfície, há um bombardeamento simultâneo à transferência térmica, produzido pelas espécies que compõem o plasma. Assim, além de alta taxa de aquecimento, o plasma produz defeitos superficiais, reações químicas controladas, etc. Embora possuindo uma grande versatilidade de uso, uma série de limitações quanto ao seu entendimento ainda existe. Estas dificuldades estão relacionadas, principalmente, à dificuldade de dimensionamento dos reatores, cinética envolvida e reprodutibilidade. Neste trabalho é apresentado um laboratório multidisciplinar de processamento de materiais por plasma, que visa estudar o plasma sob o aspecto básico e aplicado. É discutido desde a escolha do perfil da equipe até os tipos de aplicações escolhidas para serem estudadas.

 

Nas últimas décadas, tem-se observado uma série de processos que utilizam o plasma como fonte energética. Na área de materiais, as aplicações vão desde os processos primários como os siderúrgicos até àqueles mais sofisticados como os de confecção de dispositivos da microeletrônica. Estes processos, em alguns casos são completamente originais e em outros, que correspondem a uma grande maioria, simplesmente substituem as fontes energéticas dos processos convencionais. A simples substituição da fonte energética convencional pelo plasma já justifica a sua aplicação devido total mudança de mecanismo da reação. Na reação do plasma com uma superfície, há um bombardeamento simultâneo à transferência térmica, produzido pelas espécies que compõem o plasma. Assim, além de alta taxa de aquecimento, o plasma produz defeitos superficiais, reações químicas controladas, etc. Embora possuindo uma grande versatilidade de uso, uma série de limitações quanto ao seu entendimento ainda existe. Estas dificuldades estão relacionadas, principalmente, à dificuldade de dimensionamento dos reatores, cinética envolvida e reprodutibilidade. Neste trabalho é apresentado um laboratório multidisciplinar de processamento de materiais por plasma, que visa estudar o plasma sob o aspecto básico e aplicado. É discutido desde a escolha do perfil da equipe até os tipos de aplicações escolhidas para serem estudadas.

Keywords

Plasma – Processamento de materiais – Tecnologias de plasma

Plasma – Processamento de materiais – Tecnologias de plasma

How to cite

Júnior, Clodomiro Alves. CRIAÇÃO DE UM LABORATÓRIO PARA PROCESSAMENTO DE MATERIAIS POR PLASMA, p. 1637-1646. In: 54th Congresso anual, São Paulo, Brasil, 1999.
ISSN: 2594-5327, DOI 10.5151/2594-5327-C00702