Title

DESENVOLVIMENTO E CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS DE ÓXIDO DE ZINCO

DEVELOPMENT AND CHARACTERIZATION OF THIN FILMS OF ZINC OXIDE

Authorship

Sabino, Milena Emerenciano Luz; Guerra, Christiano Pereira; Branco, José Roberto Tavares; Diniz, Sônia Cardoso

Sabino, Milena Emerenciano Luz

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Guerra, Christiano Pereira

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Branco, José Roberto Tavares

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Diniz, Sônia Cardoso

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DOI

10.5151/2594-5327-0322

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Abstract

Filmes de óxido de zinco (ZnO) foram depositados sobre vidro, lâminas de silício e aço inoxidável AISI 304, a partir de vapores produzidos por bombardeio com feixe de elétrons e auxilio de plasma de argônio. Foi também realizado pós-processamento de filmes a 550oC em atmosfera oxidante. Os filmes foram caracterizados por espectroscopia óptica - ultravioleta e visível; microscopia de força atômica, perfilometria e resistividade elétrica. Foram obtidos filmes de ZnO aderentes sobre os substratos usados. No estado como depositado os filmes apresentaram baixa rugosidade, transmitância e resistividade elétricas. Após o tratamento termo-químico ocorreu aumento da rugosidade, da transmitância e diminuição da resistividade. Foram realizados cálculos do índice de refração, transmitância, energia de banda proibida, coeficiente de absorção e espessura dos filmes.

Thin films of zinc oxide (ZnO) have been deposited on glass, Si (001), and stainless steel AISI 304 substrates, through reactive e- beam evaporation with assintance argon plasm. The films were annealed at 550 oC in a oxidizing atmosphere and characterized by optical espectroscopy - ultraviolet and visible; atomic force microscopy, profilometry and eletrical resistivity. The films we adher’ent and in the as deposited condition they presented low roughness, transmittance and high eletrical resistivity. After the termo- chemical treatment there was an increase of the transmittance and a decrease of the resistivity. With an increase in roughness calculations of the refraction index, transmittance, bandgap energy, absorption coefficient and thickness of the films were accomplished.

Keywords

Óxido de zinco; Tratamento termo-químico; Célula solar.

Zinc oxide; Thermal treatment; solar cells.