Title

EFEITO DA TEMPERATURA DE SUBSTRATO NAS TENSÕES RESIDUAIS E DE RUPTURA DE FILMES FINOS DEPOSITADOS PELO MÉTODO DE SPRAY-PIRÓLISE

EFEITO DA TEMPERATURA DE SUBSTRATO NAS TENSÕES RESIDUAIS E DE RUPTURA DE FILMES FINOS DEPOSITADOS PELO MÉTODO DE SPRAY-PIRÓLISE

Authorship

LIMA, FLÁVIA BARROS; JR., HERVAL RAMOS PAES; CARVALHO, EDUARDO ATEM DE

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JR., HERVAL RAMOS PAES

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CARVALHO, EDUARDO ATEM DE

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DOI

10.5151/2594-5327-C00600

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Abstract

A deposição de filmes finos pelo método de spray-pirólise se realiza a temperaturas de substrato que podem atingir até cerca de 300 °C (no caso deste trabalho). Quando do resfriamento do substrato revestido pelo filme, os diferentes coeficientes de expansão térmica geram tensões residuais significativas no filme. Filmes frágeis de alumina depositados são testados em um aparato experimental proposto, que incorpora uma viga em balanço, na qual é colado um extensômetro elétrico, submetida a deflexões induzidas por um micrômetro. Desta forma, pode-se determinar a deformação, associada à deflexão, que causou a ruptura (detectada via uso de uma lupa óptica) do filme na superfície da viga. Estes valores das tensões de ruptura obtidas neste experimento são superpostos às tensões residuais induzidas pelo processo de deposição. Um modelo matemático é apresentado para descrever a parcela de deformações residuais presentes num dado conjunto filme-substrato.

A deposição de filmes finos pelo método de spray-pirólise se realiza a temperaturas de substrato que podem atingir até cerca de 300 °C (no caso deste trabalho). Quando do resfriamento do substrato revestido pelo filme, os diferentes coeficientes de expansão térmica geram tensões residuais significativas no filme. Filmes frágeis de alumina depositados são testados em um aparato experimental proposto, que incorpora uma viga em balanço, na qual é colado um extensômetro elétrico, submetida a deflexões induzidas por um micrômetro. Desta forma, pode-se determinar a deformação, associada à deflexão, que causou a ruptura (detectada via uso de uma lupa óptica) do filme na superfície da viga. Estes valores das tensões de ruptura obtidas neste experimento são superpostos às tensões residuais induzidas pelo processo de deposição. Um modelo matemático é apresentado para descrever a parcela de deformações residuais presentes num dado conjunto filme-substrato.

Keywords

propriedades mecânicas, filmes finos

propriedades mecânicas, filmes finos