Title

ESTUDO DO CRESCIMENTO DO ÓXIDO ANÓDICO DE ALUMÍNIO EM SOLUÇÃO DE H3PO4 A 0,4M POR ELIPSOMETRIA

ANOMALINE OXIDE GROWTH STUDY IN 0.4M H3PO4 SOLUTION BY ELIPSOMETRY

Authorship

Moura, Sebastião Jucivaldo Oliveira; Caldeira, Marcus Vinícius; Santos, Ramona Rodrigues; Gomes, Bhetina Cunha; Ferreira, Elivelton Alves; Silva, Ladário da

Moura, Sebastião Jucivaldo Oliveira

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Caldeira, Marcus Vinícius

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Santos, Ramona Rodrigues

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Gomes, Bhetina Cunha

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Ferreira, Elivelton Alves

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Silva, Ladário da

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DOI

10.5151/1516-392X-31576

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Abstract

Neste trabalho foi empregado crescimento anódico de óxido de alumínio em solução fosfato (H3PO4) a 0,4M sobre substrato de alumínio. A anodização usada foi a potenciostática sob tensões de 20V, 40V e 60V. As espessuras dos óxidos sobre as amostras foram obtidas mediante modelamento pela técnica de elipsometria. Esta técnica acessa diretamente parâmetros elipsométricos tan⁡(Ψ) e cos⁡(Δ), e os compara com os gerados por modelagem. Com a técnica também é possível medir as propriedades ópticas como os índices de refração e os coeficientes de extinção em função do comprimento de onda.

In this work was used aluminum oxide anodic growth in phosphate solution (H3PO4) at 0.4M over aluminum substrate. The anodising used was the potentiostatic under voltages of 20V, 40V and 60V. The oxides thicknesses over the samples were obtainedthrough modeling using the ellipsometry technique. This technique directly access ellipsometric parameters tan⁡(Ψ) and cos⁡(Δ), comparing with the generated by modeling. With the technique it is also possible to measure optical properties such as refractive indexes and extinction coefficients as a function of wavelength.

Keywords

Elipsometria Espectroscópica; Óxido Anódico; Modelagem.

Spectroscopic Ellipsometry; Anodic Oxide; Modeling.