Title

EVOLUÇÃO MICROESTRUTURAL DE FILMES FINOS DE ALUMÍNIO TRATADOS TERMICAMENTE

EVOLUÇÃO MICROESTRUTURAL DE FILMES FINOS DE ALUMÍNIO TRATADOS TERMICAMENTE

Authorship

MONTEIRO, WALDEMAR ALFREDO; FERREIRA, NILDEMAR APARECIDO MESSIAS

MONTEIRO, WALDEMAR ALFREDO

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FERREIRA, NILDEMAR APARECIDO MESSIAS

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DOI

10.5151/2594-5327-50v5-229-236

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Abstract

O objetivo deste trabalho é apresentar a evolução da microestrutura de filmes finos de alumínio de alta pureza após tratamentos térmicos utilizando microscopia eletrônica de transmissão. Na tecnologia do processo de produção de filmes finos é muito importante evitar-se formação de textura preferencial dos grãos formados ao utilizar-se substratos de deposição à temperatura ambiente e sob vácuo de 10⁻⁶ torr, obtendo-se elevado refino de grão (50 nm). Os estudos de tratamentos térmicos de filmes finos onde se pode acompanhar a evolução da microestrutura facilitam o entendimento de alterações que possam ocorrer nas camadas finas de filmes depositados sobre materiais com função protetora e que, por processos de aquecimento, levam a uma quebra de propriedades importantes como, por exemplo, diminuição da resistência mecânica e a corrosão.

O objetivo deste trabalho é apresentar a evolução da microestrutura de filmes finos de alumínio de alta pureza após tratamentos térmicos utilizando microscopia eletrônica de transmissão. Na tecnologia do processo de produção de filmes finos é muito importante evitar-se formação de textura preferencial dos grãos formados ao utilizar-se substratos de deposição à temperatura ambiente e sob vácuo de 10⁻⁶ torr, obtendo-se elevado refino de grão (50 nm). Os estudos de tratamentos térmicos de filmes finos onde se pode acompanhar a evolução da microestrutura facilitam o entendimento de alterações que possam ocorrer nas camadas finas de filmes depositados sobre materiais com função protetora e que, por processos de aquecimento, levam a uma quebra de propriedades importantes como, por exemplo, diminuição da resistência mecânica e a corrosão.

Keywords

Filme fino, Tratamento térmico, Microscopia eletrônica

Filme fino, Tratamento térmico, Microscopia eletrônica