Title

FILMES DE DIÓXIDO DE CÉRIO DOPADOS COM SAMÁRIO

CERIUM DIOXIDE FILMS DOPED WITH SAMARIUM

Authorship

Azevedo, João Paulo Barcelos de; Souza, Josemar de; Junior, Herval Ramos Paes

Azevedo, João Paulo Barcelos de

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Souza, Josemar de

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Junior, Herval Ramos Paes

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DOI

10.5151/2594-5327-0086

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Abstract

Neste trabalho, filmes de dióxido de cério dopados com samário (SDC), nas concentrações de 0, 10, 20 e 30% at. foram depositados em substrato de silício monocristalino (111) utilizando a técnica spray pirólise. Foi investigada a influência da variação da concentração do dopante e temperatura de tratamento térmico nas propriedades estruturais e elétricas dos filmes. Os filmes obtidos apresentaram-se policristalinos com a orientação de crescimento preferencial (111). A dopagem propiciou a elevação da condutividade elétrica em relação a condutividade do filme intrínseco e a redução dos valores de energia de ativação do processo de condução elétrica. Os filmes dopados com 20% at. de samário e tratados termicamente a 800°C durante 4 horas apresentaram os valores de condutividade elétrica mais elevados e a melhor qualidade cristalina. Os filmes tratados termicamente a 900 e 1000oC apresentaram uma alteração na coloração original após o tratamento térmico indicando interação entre substrato e filme.

Cerium dioxide films doped with samarium (SDC) in concentrations of 0, 10, 20 and 30% at. were deposited on monocrystalline silicon (111) by spray pyrolysis method. The influence of the doping concentration and heat-treatment temperature in the structural and electrical properties of the films was investigated. The obtained films were polycrystalline with growth preferential orientation (111). The doping propitiated the elevation of the electrical conductivity in relation to the conductivity of the intrinsic film and the reduction of the values of activation energy of the electrical conduction process. The films doped with samarium 20at.% heated at 800 oC for 4 hours presented the higher values of electrical conductivity and the best crystallinity. The films heated at 900 and 1000oC presented a change in the original coloration after the heat-treatment indicating a possible interaction between substrate and film.

Keywords

Dióxido de cério; Spray pirólise; Filmes.

Cerium dioxide; Spray pyrolysis; Thin films.