Title

Influência dos Parâmetros de Processamento por Plasma de Metano na Estrutura e Propriedade de Filmes de Carbono

Influência dos Parâmetros de Processamento por Plasma de Metano na Estrutura e Propriedade de Filmes de Carbono

Authorship

POLIAKOV, VLADIMIR PROKOFIEVITCH; MATLAKHOV, ANATOLI NIKOLAEVITCH; MONTEIRO, SÉRGIO NEVES

POLIAKOV, VLADIMIR PROKOFIEVITCH

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MATLAKHOV, ANATOLI NIKOLAEVITCH

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MONTEIRO, SÉRGIO NEVES

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DOI

10.5151/2594-5327-51v5-411-422

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Abstract

Investigou-se a influência dos parâmetros relacionados com descargas elétricas de altas voltagens, características do plasma de metano, sobre as propriedades e estrutura de depósitos de carbono condensados em diferentes substratos. Os substratos empregados foram: vidro amorfo, molibdênio policristalino e silício monocristalino. A subestrutura dos filmes depositados foi analisada por difração eletrônica revelando um caráter amorfo com presença de micro-regiões apresentando cristalinidade típica de diamante e grafite. Nestas micro-regiões constatou-se a predominância de hibridização de elétrons de valência sp³ sobre sp², características dos átomos de carbono. Verificou-se que a espessura dos filmes de carbono aumentou com o tempo e com a densidade de corrente. Para as mesmas condições operacionais, as espessuras dos filmes variaram com o tipo de substrato. O processo de nucleação e crescimento dos depósitos consistiu na formação inicial de aglomerados de carbono que evoluíram para filmes recobrindo de maneira uniforme o substrato.

Investigou-se a influência dos parâmetros relacionados com descargas elétricas de altas voltagens, características do plasma de metano, sobre as propriedades e estrutura de depósitos de carbono condensados em diferentes substratos. Os substratos empregados foram: vidro amorfo, molibdênio policristalino e silício monocristalino. A subestrutura dos filmes depositados foi analisada por difração eletrônica revelando um caráter amorfo com presença de micro-regiões apresentando cristalinidade típica de diamante e grafite. Nestas micro-regiões constatou-se a predominância de hibridização de elétrons de valência sp³ sobre sp², características dos átomos de carbono. Verificou-se que a espessura dos filmes de carbono aumentou com o tempo e com a densidade de corrente. Para as mesmas condições operacionais, as espessuras dos filmes variaram com o tipo de substrato. O processo de nucleação e crescimento dos depósitos consistiu na formação inicial de aglomerados de carbono que evoluíram para filmes recobrindo de maneira uniforme o substrato.

Keywords

Plasma de metano, Deposição de carbono, Filmes de grafite, Filmes de diamante

Plasma de metano, Deposição de carbono, Filmes de grafite, Filmes de diamante