Title

MATERIAIS PARA SENSORES DE INFRAVERMELHO

INFRARED SENSORS MATERIALS

Authorship

FERREIRA, CARLOS LUIZ; CASTRO, MARCELO SILVA BORTOLINI DE; AVILLEZ, ROBERTO RIBEIRO DE

FERREIRA, CARLOS LUIZ

I am this author

CASTRO, MARCELO SILVA BORTOLINI DE

I am this author

AVILLEZ, ROBERTO RIBEIRO DE

I am this author

DOI

10.5151/2594-5327-2005-16276-0338

Downloads

Abstract

Foram produzidos, por pulverização catódica, filmes finos de diferentes óxidos de vanádio para aplicação em bolômetros. O processamento dos filmes foi a partir de um alvo de V2O5 de alta pureza (99,9%). Variando-se a atmosfera de deposição e a temperatura dos substratos, foi possível obter V2O3, V5O9, VO2 e V2O5. Do ponto de vista de sua aplicação tecnológica, o filme de melhor resultado apresentou um TCR de -1,8%.K-1. Objetivando facilitar a compreensão do leitor, este trabalho apresenta uma breve explanação sobre sensores de infravermelho, com ênfase nos bolômetros.

Vanadium oxide thin films for application in bolometers were deposited by magnetron sputtering. The source was used a 99,9% pure V2O5 target. The deposition atmosphere and substrate temperature were varied to provide different oxides formation: V2O3, V5O9, VO2 and V2O5. The best result for bolometer application provided a -1,8%.K-1 TCR. A short explanation about infrared sensors, especially bolometers, is presented to help the reader understand this technology.

Keywords

Sensor de infravermelho; Bolômetro; Óxido de vanádio; TCR

Infravermelho; Detector; Bolômetro; Óxido de vanádio; Nanoestrutura.