Title

MEDIDAS DE EFUSÃO DE HIDROGÊNIO UTILIZADAS NA CARACTERIZAÇÃO DA INTERAÇÃO Cu-Si EM BICAMADAS Cu/a-Si:H

MEDIDAS DE EFUSÃO DE HIDROGÊNIO UTILIZADAS NA CARACTERIZAÇÃO DA INTERAÇÃO Cu-Si EM BICAMADAS Cu/a-Si:H

Authorship

BERNARDINO, LUIZ ANTONIO FERREIRA; ACHETE, CARLOS ALBERTO; JR., FERNANDO LÁZARO FREIRE

BERNARDINO, LUIZ ANTONIO FERREIRA

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ACHETE, CARLOS ALBERTO

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JR., FERNANDO LÁZARO FREIRE

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DOI

10.5151/2594-5327-50v2-441-454

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Abstract

Medidas de efusão de gases podem ser utilizadas como uma importante ferramenta na caracterização de materiais. Através da evolução de gases em determinada temperatura pode-se avaliar alterações estruturais e/ou químicas que ocorrem com o material durante o tratamento térmico. Neste trabalho as medidas de efusão foram utilizadas para estudar os processos de formação do silicato de cobre e de cristalização do silício amorfo hidrogenado (a-Si:H) em bicamadas Cu/a-Si:H. Análises nucleares como detecção de hidrogênio por recuo elástico (ERDA - “Elastic Recoil Detection Analisys”) e Retroespalhamento de Rutherford (RBS) foram utilizadas respectivamente para o levantamento do perfil de concentração de hidrogênio e determinação da formação do silicato de cobre (Cu₃Si). Utilizando um equipamento construído no próprio laboratório foi possível observar, que durante a formação do silicato, ocorre a evolução de hidrogênio sob a forma de H₂. No entanto, através das análises nucleares foi verificada que parte do hidrogênio liberado pela reação Cu-Si permanece acumulado sob a forma de silício estequiométrico evoluindo somente quando se inicia a cristalização do silício amorfo hidrogenado a partir de 320 °C.

Medidas de efusão de gases podem ser utilizadas como uma importante ferramenta na caracterização de materiais. Através da evolução de gases em determinada temperatura pode-se avaliar alterações estruturais e/ou químicas que ocorrem com o material durante o tratamento térmico. Neste trabalho as medidas de efusão foram utilizadas para estudar os processos de formação do silicato de cobre e de cristalização do silício amorfo hidrogenado (a-Si:H) em bicamadas Cu/a-Si:H. Análises nucleares como detecção de hidrogênio por recuo elástico (ERDA - “Elastic Recoil Detection Analisys”) e Retroespalhamento de Rutherford (RBS) foram utilizadas respectivamente para o levantamento do perfil de concentração de hidrogênio e determinação da formação do silicato de cobre (Cu₃Si). Utilizando um equipamento construído no próprio laboratório foi possível observar, que durante a formação do silicato, ocorre a evolução de hidrogênio sob a forma de H₂. No entanto, através das análises nucleares foi verificada que parte do hidrogênio liberado pela reação Cu-Si permanece acumulado sob a forma de silício estequiométrico evoluindo somente quando se inicia a cristalização do silício amorfo hidrogenado a partir de 320 °C.

Keywords

Efusão, Hidrogênio, Silício Amorfos

Efusão, Hidrogênio, Silício Amorfos