Title

MEDIÇÃO DE ESPESSURA DE FILMES COM AUXÍLIO DE PERFILOMETRIA E ENSAIO DE CALOTESTE

EVALUATION OF COATING THICKNESS BY CONTACT PROBE PROFILOMETER AND CRATER GRINDING METHOD

Authorship

Neves, George Lucas Barreto; Ramanery, Fábio Pereira; Neiva, Everton Galvão de; Silve, Carlos Wagner Moura e; Branco, José Roberto Tavares

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Ramanery, Fábio Pereira

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Neiva, Everton Galvão de

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Silve, Carlos Wagner Moura e

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Branco, José Roberto Tavares

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DOI

10.5151/2594-5327-0466

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Abstract

A caracterização tribológica laboratorial de recobrimentos para aplicações de engenharia é uma etapa muito importante no desenvolvimento de novos filmes. Vários são os ensaios que permitem avaliar a performance desses materiais sob diversas condições de testes, contudo, uma característica do recobrimento é essencial: a sua espessura. De maneira direta ou indireta, a espessura de um recobrimento pode ser medida utilizando-se diversas técnicas, simples ou complexas, e dentre essas a perfilometria tem um papel de destaque. Nesse trabalho foi mostrado como a técnica de perfilometria pode ser eficiente para a medição tanto de filmes finos quanto de filmes espessos. Filmes de carbono, silício e níquel fósforo tiveram sua espessura avaliada por perfilometria bidimensional, medindo-se degraus feitos nos próprios filmes ou avaliando a mudança de rugosidade nas amostras após ensaio micro-abrasivo do tipo Caloteste. Os valores de espessura obtidos para os filmes de carbono (espessura

The tribological characterization of coatings for engineering applications is a very important stage in the development of new films. Although many procedures can be used to estimate the performance of these materials under different tests conditions and the determination of thickness is an essential step of the characterization process. Coating thickness might be measured using diverse techniques, one of them being the profilometer. In this paper, it was shown that profilometry is an efficient technique to measure the thickness of both thin and thick films. The thickness of C, Si and Ni-P films has been evaluated by 2-D profilometry. The procedure consists of measuring steps made in the films or evaluating the roughness changes in the samples tested with the crater grinding method. The thickness results for the carbon films (t

Keywords

Perfilometria; Caloteste; Espessura; Filmes finos.

Profilometer, Ball test, Thickness, Thin films.