Title

PROCESSAMENTO E CARACTERIZAÇÃO DE FILMES DLC (CARBONO AMORFO TIPO DIAMANTE) PARA APLICAÇÕES TRIBOLÓGICAS

PROCESSING AND CHARACTERIZATION OF DLC FOR TRIBOLOGICAL APPLICATIONS

Authorship

Oliveira, P. E.; Saturnino, D. M.; Gomes, S. H. F.; Moura, C. W.; Branco, J. R. T.

Oliveira, P. E.

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Saturnino, D. M.

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Gomes, S. H. F.

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Moura, C. W.

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Branco, J. R. T.

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DOI

10.5151/2594-5327-0333

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Abstract

Esse trabalho investigou o comportamento mecânico e tribológico de filmes de carbono tipo diamante (diamond–like carbon – DLC) produzidos a partir de plasma de acetileno/argônio, portanto por deposição química de vapor com assistência de plasma (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition – PECVD). Os filmes foram depositados sobre substratos de aço inoxidável AISI 304 preparados, com e sem nitretação prévia. Quanto a sua estrutura química, os filmes foram caracterizados por espectroscopia Raman e Infravermelho (IV). O comportamento tribológico foi avaliado com ensaios de pino-sobre-disco e a aderência com ensaios de penetração. Os resultados mostram que o processo permitiu a deposição de filmes de DLC e que a nitretação iônica do substrato promoveu a aderência dos recobrimentos.

The tribologial behavior of diamond-like carbon (DLC) films were investigated. The films were deposited from an acetylene/argon plasma assisted chemical vapor deposition (PACVD), on AISI 304 stainless steel, with and without plasma nitretading The tribological behavior was evaluated by a pin-on-disk testing in open air while the adhesion was accessed by in plane penetration. Raman and Fourier transformed IR spectroscopy were used to analyse the structure and chemistry of the film. The results showed that DLC was successfully deposited and that the plasma nitriding enhanced adhesion and of the films.

Keywords

Tribologia; DLC; PECVD.

Tribology, DLC films; PACVD1