ISSN 2594-5327
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Abstract
O trabalho descreve o processo de obtenção de silício com pureza de grau eletrônico a partir de matéria-prima nacional, desenvolvido na UNICAMP por meio do Projeto TELEBRAS-MGE. É feita uma breve apresentação das etapas de redução de minério, conversão do Silício de grau metalúrgico a triclorosilano, purificação do triclorosilano e da deposição do silício a partir do triclorosilano. Posteriormente é analisado com maior detalhe o método de fusão zonal flutuante empregado na purificação do silício até grau eletrônico.
How to cite
Arruda, Antonio Celso Fonseca de; Barbosa, Luiz Carlos.
Purificação do silício pelo método da fusão zonal flutuante,
p. 1658-1673.
In: ,
São Paulo, Brasil,
1980.
ISSN: 2594-5327, DOI 10.5151/2594-5327-1980-35-v3-375-390