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Resultados Preliminares de Deposição de Diamante sobre Silício por Chama de Combustão

Resultados Preliminares de Deposição de Diamante sobre Silício por Chama de Combustão

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DOI, IOSHIAKI; BRITO, EDGAR ALBERTO DE; PAGAN, CESAR BONJUANI; CHANG, DAHGE CHIADIN; BARANAUSKAS, VITOR

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BRITO, EDGAR ALBERTO DE

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PAGAN, CESAR BONJUANI

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CHANG, DAHGE CHIADIN

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BARANAUSKAS, VITOR

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10.5151/2594-5327-50v4-517-530

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Abstract

Neste trabalho apresentamos resultados preliminares de crescimento de filmes de diamantes sobre substratos de Silício pelo método de chama de combustão oxi-acetileno. Discutimos os efeitos da temperatura do substrato nas características superficiais do filme obtido. As análises da morfologia da superfície dos filmes feitas através de Microscopia Eletrônica de Varredura (SEM), mostraram que a deposição não é uniforme sobre toda a região depositada, variando do centro para as extremidades da amostra. Nas condições crescidas, temos na região central da chama uma deposição com formas cúbicas, alterando para arredondadas e tipo couve-flor, característica de estruturas de carbonos amorfos e grafitas. As medidas Raman destas regiões mostraram um pico estreito e intenso em 1331 cm⁻¹, sem fases grafíticas ou carbono amorfo e praticamente sem sinal de luminescência de fundo, indicando que temos na região correspondente ao centro da chama diamante de alta qualidade e alta pureza. Na região intermediária da chama, observou-se no espectro Raman, além do pico em 1331 cm⁻¹, um pico de espectro bastante amplo centrado na região de 1500–1600 cm⁻¹, devido a fase sp², mostrando nesta parte do filme a presença de fases grafíticas.

Neste trabalho apresentamos resultados preliminares de crescimento de filmes de diamantes sobre substratos de Silício pelo método de chama de combustão oxi-acetileno. Discutimos os efeitos da temperatura do substrato nas características superficiais do filme obtido. As análises da morfologia da superfície dos filmes feitas através de Microscopia Eletrônica de Varredura (SEM), mostraram que a deposição não é uniforme sobre toda a região depositada, variando do centro para as extremidades da amostra. Nas condições crescidas, temos na região central da chama uma deposição com formas cúbicas, alterando para arredondadas e tipo couve-flor, característica de estruturas de carbonos amorfos e grafitas. As medidas Raman destas regiões mostraram um pico estreito e intenso em 1331 cm⁻¹, sem fases grafíticas ou carbono amorfo e praticamente sem sinal de luminescência de fundo, indicando que temos na região correspondente ao centro da chama diamante de alta qualidade e alta pureza. Na região intermediária da chama, observou-se no espectro Raman, além do pico em 1331 cm⁻¹, um pico de espectro bastante amplo centrado na região de 1500–1600 cm⁻¹, devido a fase sp², mostrando nesta parte do filme a presença de fases grafíticas.

Keywords

Diamante, Deposição de Diamante por Chama, Filmes de Diamante

Diamante, Deposição de Diamante por Chama, Filmes de Diamante