ISSN 2594-5327
59th Congresso anual — Vol. 59 , num. 1 (2004)
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Abstract
O objetivo deste trabalho é o estudo da deposição de filmes de carbono tipo diamante (Diamond-like Carbon – DLC), obtidos por processos de deposição química à vapor por plasma de alta densidade. Esses filmes serão utilizados no revestimento de ferramentas de corte e brocas. Os filmes de carbono tipo diamante (DLC) apresentam excelentes propriedades para aplicações na área de revestimentos, além de diminuírem o atrito e de possuírem boa aderência, apresentam alta dureza (chegando até a valores bem próximos da dureza do diamante) e baixa rugosidade, o que aumenta a vida útil das ferramentas de corte revestidas com esses filmes. Os filmes de DLC foram obtidos utilizando-se plasmas de metano puro. Foram variados os seguintes parâmetros: pressão de processo, potência RF aplicada ao eletrodo e potência aplicada à bobina. Após os processos de deposição, os filmes foram submetidos às análises de rugosidade por Microscopia de Força Atômica (AFM), análise de estresse residual, medidas de dureza, análise por Espectroscopia Raman, para estudo da composição dos filmes de DLC obtidos e medidas de espessura num Perfilômetro. Desta forma, podemos comprovar a utilização dos filmes como camada de revestimentos para ferramentas de corte.
O objetivo deste trabalho é o estudo da deposição de filmes de carbono tipo diamante (Diamond-like Carbon – DLC), obtidos por processos de deposição química à vapor por plasma de alta densidade. Esses filmes serão utilizados no revestimento de ferramentas de corte e brocas. Os filmes de carbono tipo diamante (DLC) apresentam excelentes propriedades para aplicações na área de revestimentos, além de diminuírem o atrito e de possuírem boa aderência, apresentam alta dureza (chegando até a valores bem próximos da dureza do diamante) e baixa rugosidade, o que aumenta a vida útil das ferramentas de corte revestidas com esses filmes. Os filmes de DLC foram obtidos utilizando-se plasmas de metano puro. Foram variados os seguintes parâmetros: pressão de processo, potência RF aplicada ao eletrodo e potência aplicada à bobina. Após os processos de deposição, os filmes foram submetidos às análises de rugosidade por Microscopia de Força Atômica (AFM), análise de estresse residual, medidas de dureza, análise por Espectroscopia Raman, para estudo da composição dos filmes de DLC obtidos e medidas de espessura num Perfilômetro. Desta forma, podemos comprovar a utilização dos filmes como camada de revestimentos para ferramentas de corte.
Keywords
revestimentos, carbono tipo diamante, deposição por plasma.
revestimentos, carbono tipo diamante, deposição por plasma.
How to cite
Mousinho, Ana Paula; Mansano, Ronaldo Domingues; Ordonez, Nelson.
REVESTIMENTO ANTIDESGASTE EM FERRAMENTAS DE CORTE COM FILMES DE CARBONO TIPO DIAMANTE (DIAMOND-LIKE CARBON) POR DEPOSIÇÃO QUÍMICA À VAPOR COM PLASMA DE ALTA DENSIDADE,
p. 1318-1327.
In: 59th Congresso anual,
São Paulo, Brasil,
2004.
ISSN: 2594-5327, DOI 10.5151/2594-5327-3804
