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  INFLUÊNCIA DE PARÂMETROS OPERACIONAIS NA DEPOSIÇÃO POR ‘SPUTTERING’ REATIVO, DE ÓXIDOS METÁLICOS EM SUBSTRATOS CERÂMICOS

  Castro, Maria das Mercês Reis de; Guruswamy, Sivaraman

  v4 – doi 10.5151/2594-5327-50v4-611-620

  p-2349-2358