Title

PRODUÇÃO E CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS DE ÓXIDO DE ZINCO INTRÍNSECOS E DOPADOS COM ALUMÍNIO E BORO

PRODUCTION AND CHARACTERIZATION OF INTRINSIC AND DOPED WITH ALUMINUM AND BORON ZINC OXIDE THIN FILMS

Authorship

Dias, Claudio André Chagas Martins; Júnior, Herval Ramos Paes

Dias, Claudio André Chagas Martins

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Júnior, Herval Ramos Paes

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DOI

10.5151/2594-5327-0082

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Abstract

Filmes finos de óxido de zinco intrínsecos (ZnO) e dopados com Alumínio (ZnO:Al) e Boro (ZnO:B) foram depositados por spray-pirólise sobre substratos de vidro. Foi estudada a influência de parâmetros como a concentração de dopante, temperatura de substrato (TS) e processamento térmico sob vácuo sobre as propriedades estruturais, óticas e elétricas dos filmes visando sua aplicação como óxido condutor transparente. Foram obtidos valores de resistividade elétrica de 1, 21 x 10-2 e 6,97x 10-3

Intrinsic (ZnO), Al-doped (ZnO:Al) and B-doped (ZnO:B) thin films were deposited by spray-pyrolysis on glass substrates. It was studied the influence of parameters as doping concentration, substrate temperature (Ts) and thermal processing under vacuum on the structural, optical and electrical properties of the films, seeking its application as transparent conductive oxide. Electrical resistivity values of 1,21 x 10-2 and 6,97 x 10-3

Keywords

Óxido de zinco; Spray pirólise; Propriedades elétricas e óticas; Óxido condutor transparente.

Zinc oxide; Spray-pyrolysis; Electrical and optical properties; Transparent conductive oxide.