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  OBTENÇÃO DE FILMES FINOS DE COBRE POR GAIOLA CATÓDICA: ANÁLISE DO CONFINAMENTO DO PLASMA VARIANDO A ESPESSURA DA TAMPA DA GAIOLA E DOS PARÂMETROS DE DEPOSIÇÃO

  Costa, Thércio Henrique de Carvalho; Sousa, Rômulo Ribeiro Magalhões de; Feitor, Michelle Cequeira; Filho, Edglay de Almeida Rocha; Souza, Ivan Alves de; Fernandes, Fernanda de Melo

  Artigo completo – doi 10.5151/1516-392X-30765

  p-2748-2756